超純水檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)是多少 超純水取樣規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)

586次 2025.01.02

  超純水也稱為UP水,是一種特殊的水質(zhì),其電阻率達(dá)到18MΩ*cm(25℃),意味著這種水中除了水分子外,幾乎沒有其他雜質(zhì),包括細(xì)菌、病毒、含氯二噁英等有機(jī)物,以及人體所需的礦物質(zhì)微量元素。超純水在工業(yè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,如器皿清洗、光刻掩模版制備等。中科檢測(cè)開展超純水檢測(cè)服務(wù),具備CMA、CNAS資質(zhì)認(rèn)證。


  超純水檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)


  GB/T6682-2008《分析實(shí)驗(yàn)室用水規(guī)格和試驗(yàn)方法》


  本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了分析實(shí)驗(yàn)室用水的級(jí)別、規(guī)格、取樣及貯存、試驗(yàn)方法和試驗(yàn)報(bào)告。本標(biāo)準(zhǔn)適用于化學(xué)分析和無機(jī)痕量分析等試驗(yàn)用水??筛鶕?jù)實(shí)際工作需要選用不同級(jí)別的水。


  超純水的達(dá)標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)


  超純水是各種領(lǐng)域非常重要的一種純凈水,其達(dá)標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)主要包括水的電導(dǎo)率、總有機(jī)碳含量、總硅含量、微生物等指標(biāo)。在應(yīng)用過程中,需要嚴(yán)格控制各種指標(biāo),以保證超純水的純度和穩(wěn)定性。


  1.電導(dǎo)率


  電導(dǎo)率是評(píng)估水的導(dǎo)電能力的一個(gè)重要指標(biāo),一般來說,純凈水的電導(dǎo)率應(yīng)低于0.056μs/cm,而超純水的電導(dǎo)率應(yīng)低于0.056μs/cm。


  2.總有機(jī)碳含量


  總有機(jī)碳(TOC)是一個(gè)衡量水樣中有機(jī)物總量的指標(biāo)。一般來說,高純水的TOC應(yīng)低于50ppb,而超純水的TOC應(yīng)低于50ppb。


  3.總硅含量


  硅是自然界中廣泛存在的元素,也是一些工業(yè)過程中的常見污染物之一。超純水的硅含量應(yīng)低于20ppb。如果要用超純水制備半導(dǎo)體材料等高精度產(chǎn)品,其硅含量限制甚至可以降低到1ppb以下。


  4.微生物


  微生物對(duì)于超純水的影響也是需要考慮的一個(gè)指標(biāo),因?yàn)樗鼈兛赡軐?dǎo)致水的變質(zhì)以及一些產(chǎn)品的污染。超純水必須嚴(yán)格控制微生物數(shù)量,通常要求不得存在微生物。


  超純水取樣規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)


  按本GB/T6682-2008標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行武驗(yàn),至少應(yīng)取3L有代表性水樣。


  取樣前用待測(cè)水反復(fù)清洗容器,取樣時(shí)要避免沾污。水樣應(yīng)注滿容器。


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